정전압에 따른 클린룸 벽체에서의 입자침착 특성

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논문명	정전압에 따른 클린룸 벽체에서의 입자침착 특성 / Characteristics of Particle Deposition onto the Cleanroom Wall Panel with Electrostatic Voltages
저자명	노광철(Kwang-Chul Noh) ; 손영태(Young-Tae Son) ; 김종준(Jong-Jun Kim) ; 오명도(Myung-Do Oh)
발행사	대한설비공학회
수록사항	설비공학논문집, Vol.18 No.12 (2006-12)
페이지	시작페이지(1033) 총페이지(6)
ISSN	1229-6422
주제분류	환경및설비
주제어	클린룸 ; 클린룸 벽체 ; 정전압 ; 입자침착//Cleanroom ; Cleanroom wall panel ; Electrostatic voltage ; Particle deposition
요약1	본 연구에서는 클린룸의 내부 벽체에 대하여 정전압의 크기, 클린룸 벽체의 종류에 따른 입자침착 실험을 수행하였고, 이를 통하여 정전압과 입경에 따른 입자침착 특성에 대하여 분석하였다.
요약2	We carried out the experiments on particle deposition onto the cleanroom wall panels. And then we investigated the particle deposition characteristic coefficients for electrostatic voltages and particle size. It was found that there is little difference in characteristics of the particle deposition between the steel panel and the anti-static coating panel. In case of that the particle size is under 1.0m, the particle deposition characteristic coefficient becomes larger as the electrostatic voltage induced to the cleanroom wall panel is increasing. Where in case of that the particle size is over 3.0m, the particle deposition characteristic coefficients do not show any differences with the electrostatic voltages. It is due to that the electrostatic force is the major particle transport mechanism for submicron particles, while the gravitational settling is the major particle transport mechanism for overmicron particles when the electrostatic voltages are induced to the cleanroom wall panel.
소장처	대한설비공학회

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